1、意思不同。以致：意思是使得因此，结果，表示前一分句导致的结果。以至：连词，表示时间、数量、程度、范围等的延伸，用于下半句开头，表示上述情况所达到的深度或结果。有“一直到”“以及”“甚至”的意思。
2、基本解释不同。以致：表示由于上文所说的情况，引出了下文的结果(多指不好的结果)。以至：表示延伸。
3、引证解释不同。以致：茹志鹃《在社会主义的轨道上》：“我不觉浑身燥热起来，以致火车已走过了镇江，我才想起我原来的打算。”以至：张振金 《五峰如指翠相连》：“黎族人民对革命的忠诚，以及对建设山区的远大理想，激励着我，以至于使我忘记了山路的艰险。”