电科装备(中电科电子装备集团有限公司)
中国电子科技集团旗下,已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖,形成了以离子注入机/平坦化装备(CMP)等为代表的微电子工艺设备研究开发与生产制造体系
ASMI(先晶半导体设备(上海)有限公司)
创于1968年荷兰,全球知名半导体设备提供商,高端薄膜沉积设备行业全球领导者,主要提供ALD/epi/PECVD/炉管等产品
阿斯麦(阿斯麦(上海)光刻设备科技有限公司)
创于1984年荷兰,全球知名的半导体光刻机设备及服务提供商,享誉业内的光刻机制造企业,主要从事光刻机研发/生产/销售的大型企业,荷兰ASML公司
上海微电子(上海微电子装备(集团)股份有限公司)
成立于2002年,国产半导体光刻设备领域佼佼者,致力于半导体装备/泛半导体装备/高端智能装备的开发/设计/制造/销售及技术服务
Tokyo Electron(东电电子(上海)有限公司)
创于1963年日本,全球知名半导体制造设备/液晶显示器制造设备提供商,主要提供涂布/显像设备/热处理成膜设备/干法刻蚀设备/湿法清洗设备及测试设备
华创(北方华创科技集团股份有限公司)
成立于2001年,国内领先的半导体装备制造与服务商,其半导体设备产品主要涵盖刻蚀机/PVD/ALD/CVD/氧化/扩散炉/清洗机/气体质量流量计等
中微(中微半导体设备(上海)股份有限公司)
国内刻蚀设备行业佼佼者,以中国为基地,面向全球的微观加工高端设备公司,为集成电路和泛半导体行业提供高端设备和服务
Lam Research(泛林半导体设备技术(上海)有限公司)
创于1980年美国,全球刻蚀设备行业领导者,主营刻蚀设备/薄膜沉积设备和清洗设备的创新晶圆制造设备/技术和服务提供商
科磊(科磊半导体设备技术(上海)有限公司)
全球领先的半导体检测设备供应商,居于半导体前道量测设备领域领导地位,产品贯穿前道工艺过程控制全流程
应用材料(应用材料(中国)有限公司)
创于1967年美国,全球极具规模和影响力的半导体设备制造商之一,覆盖原子层沉积/物理气相沉积/化学气相沉积/刻蚀/快速热处理/离子注入/测量与检测/清洗等生产步骤